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槽式湿法刻蚀清洗设备
设备型号：df-1500b, df-2000b, df-3000b
设备类型：cassette-type & cassetteless-type，支持smif或foup
晶圆尺寸：150mm, 200mm, 300mm
设备配置：8~12 个槽体, 2~6 个robot（可定制）
可搭载先进超声波, 兆声波
槽体过温保护, 各module配置漏液传感器
多级wafer保护措施
支持化学液c.c.s.s / l.c.s.s
自动换酸, 自动补液、配液( 可兼容多种浓度配比)
先进marangoni干燥
加热控制, 浓度控制, 流量控制, 压力控制
化学液/水, 直排&回收
可靠性能：uptime≥95% breakage≤1/10000
mtbf≥720hours mttr≤3 hours
软件控制：pc plc gui 控制, 支持schedule、eap、fdc功能
设备类型：cassette-type & cassetteless-type，支持smif或foup
晶圆尺寸：150mm, 200mm, 300mm
设备配置：8~12 个槽体, 2~6 个robot（可定制）
可搭载先进超声波, 兆声波
槽体过温保护, 各module配置漏液传感器
多级wafer保护措施
支持化学液c.c.s.s / l.c.s.s
自动换酸, 自动补液、配液( 可兼容多种浓度配比)
先进marangoni干燥
加热控制, 浓度控制, 流量控制, 压力控制
化学液/水, 直排&回收
可靠性能：uptime≥95% breakage≤1/10000
mtbf≥720hours mttr≤3 hours
软件控制：pc plc gui 控制, 支持schedule、eap、fdc功能